平面拋光機(jī)的拋光工藝是利用自由散粒磨料在工件被加工面及磨盤(pán)基面上相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使工件表面變得非常高的平整度及光滑度，工件固定不需要強(qiáng)夾、真空、磁鐵，只是自然地放置在磨盤(pán)上，基本上能適合加工任何金屬和非金屬材料的工件，鏡面研磨機(jī)沒(méi)有了強(qiáng)制性的裝夾及一般磨床的剛性磨削，減少的了沖擊及發(fā)熱產(chǎn)生的次生變形，更用利于高精度和高光潔度的加工。即使一個(gè)沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以輕易使用鏡面研磨機(jī)獲得最佳0.2um的平面度及Ra0.02um粗糙度。
平面拋光機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。通過(guò)控制器，產(chǎn)生高頻電振動(dòng)傳輸至換能器上。換能器再將輸入的超音頻電信號(hào)轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng)，經(jīng)地變幅桿放大后，傳輸至裝在變幅桿上的工具頭上，再帶動(dòng)附著在工具頭上的金剛石或磨料的懸浮液等高速磨擦工件，致使工件表面粗糙度迅速降低，直至鏡面，從而實(shí)現(xiàn)拋光的功能。
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平面拋光機(jī)的拋光工藝